◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動監測工藝參數狀態，20 個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數據。
◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
◆ ?CIF生產型等離子清洗機采用質量流量計， ?氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統， ? 可選多氣路氣體輸送系統。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、 四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。
◆ ?采用多孔道進氣方式，改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
◆ ?HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
◆ ?316 不銹鋼真空艙，潔凈無污染。
◆ ?全真空管路系統采用 316 不銹鋼材質。
◆ ?處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。
◆ ?合理的結構設計，設備占用空間小。
◆ ?可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。
◆ ?樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
◆ ?使用成本低、耗損小。
◆ ?產品性能穩定，安裝維護，簡單方便。
◆ ?安全保護，艙門打開，自動關閉電源。
◆ ?機器運行、停止提示。
| 型號 | CPC15 | CPC35 | CPC80 | CPC120 | CPC150 |
| 艙體尺寸 | W240xH240
xD260mm |
W320xH320
xD350mm |
W420xH400
xD500mm |
W500xH500
xD450mm |
W500xH500
xD600mm |
| 艙體容積 | 15L | 35L | 80L | 120L | 150L |
| 艙體材質 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 |
| 有效尺寸 | W240xD230mm | W320xD323mm | W420xD468mm | W500xxD420mm | W500xxD565mm |
| 電極分布 | 2 層 | 3-4 層 | 6 層 | 8-10 層 | 10-15 層 |
| 射頻電源 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
| 射頻功率 | 0-300W | 0-300W | 0-600W | 0-1000W | 0-1000W |
| 匹配器 | 自動匹配器 | ||||
| 激發方式 | 電容式 | ||||
| 電流 | 1.2A | ||||
| 時間設定 | 9999 秒 | ||||
| 氣體穩定 時間 | 1 分鐘 | ||||
| 真空度 | 100pa 以內 | ||||
| 控制系統 | 7 寸 PLC 觸摸屏控制 | ||||
| 工藝氣體 | 2 氣路 MFC ?（可選裝 3 路） | ||||
| 產品尺寸 | L625xW600
xH760mm |
L625xW600
xH805mm |
L905xW845
xH1940mm |
L625xW600
xH760mm |
L905xW845
xH2010mm |
| 包裝尺寸 | L740xW775
xH1000mm |
L740xW775
xH1045mm |
L1015xW1065 xH2050mm | L1015xW1065 xH2120mm | L1015xW1065 xH2120mm |
| 真空泵 | 抽速約 8m3/h | 抽速 16m3/h | 抽速 40m3/h | 抽速 60m3/h | 抽速約 60m3/h |
| 電源 | AC220V
50/60Hz 552W |
AC220V
50/60Hz 552W |
AC380V
50/60Hz 902W |
AC380V
50/60Hz 1302W |
AC380V
50/60Hz 1302W |
| 整機重量 | 108kg | 135kg | 465kg | 485kg | 575kg |
