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CIF 透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程離子清洗源 設(shè)計(jì)，清洗快速高效， 低轟擊損傷， 同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。透射電鏡樣品桿清洗機(jī)主要用于 TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。
◆ ?遠(yuǎn)程離子清洗源
◆?一機(jī)多用
◆?透射電鏡樣品桿清洗機(jī)清洗快速高效，低轟擊損傷
| 產(chǎn)品型號(hào) | CIF–TEM |
| 等離子電源 | 13.56MHz 等離子射頻電源，射頻功率 5-150W 可調(diào) |
| 遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器 | |
| 清洗室 | 清洗室尺寸??180xH100mm |
| 清洗數(shù)量 | 可同時(shí)清洗?3 支 TEM 樣品桿 |
| 適配品牌 | 美國?THERMO?FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本電子（JEOL） |
| 氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。0-500sccm/ 分，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
| 氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃獾榷喾N清洗氣源選擇 |
| 真空控制 | 皮拉尼真空計(jì)，測量范圍?1.0E-5Pa~1E+5Pa |
| 真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
| 操控方式 | 7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
| 真空泵 | 前級(jí)泵 |
| 抽氣速率?2.5?m3/h | |
| 分子泵 | |
| 極限真空：LF<8*10-6Pa，CF<8*10-7Pa | |
| 分子泵抽速?85L/s（N2） | |
| 入口法蘭：DN63?ISO-K(LF)/ CF | |
| 質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護(hù) |
| 電?? ?源 | AC220V、50/60Hz，300W |
| 產(chǎn)品尺寸 | L565xW505xH560mm |
| 包裝尺寸 | L715xW655xH820mm |
| 整機(jī)重量 | 68kg |
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