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硬件
潔凈室兼容性：10級
工作溫度：最高145°C
氮?dú)饬髁浚?.7 SCFM
工藝氣體流量：平均20-50 SCCM
內(nèi)部腔室尺寸：45.72 CM（W）X 45.72 CM（D）X 30.48 CM（H）—（18” x 18” x 12”）
腔室處理區(qū)：共12個(gè)托盤； 13個(gè)托盤插槽，用于靈活配置— 15英寸x 15英寸架子尺寸的托盤，用于不同的處理模式（活動(dòng)，接地和浮動(dòng)）—標(biāo)準(zhǔn)
配置：4個(gè)活動(dòng)，4個(gè)接地，4個(gè)浮動(dòng)
系統(tǒng)整體尺寸：59.69厘米（寬）x 71.12厘米（深）x 113.284厘米（高）—（23.5“ x 28” x 44.6“）
箱體材質(zhì)：6061-T6鋁
工藝氣體輸入：3個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，第4個(gè)可選
質(zhì)量流量控制器：可選，最多3個(gè)用于氣體混合
符合SEMI?：S2 / S8
軟件
配方數(shù)：12個(gè)，具有加載/保存/循環(huán)/鏈接功能
曝光時(shí)間范圍：0-1200秒（20分鐘）
定時(shí)器設(shè)置分辨率：1秒
G1000規(guī)格
用于引線鍵合表面處理和溫和清潔應(yīng)用
上海跡亞國際商貿(mào)有限公司
Gaia China Co.,Ltd.
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性能
射頻等離子功率：550 VAC時(shí)為0-1000瓦，可選功率
射頻漏磁：0.6 mA / m，4.15 x 10-7 A2 / m2平均
射頻泄漏電氣：平均1.6 V / m，4.2 V2 / m2
耗氮量：閑置0 SCF，峰值6.8 SCF，平均1.7 SCF
功耗（帶泵）：閑置375W，峰值1000W，平均640W
反應(yīng)氣消耗量：閑置0 SCF，20-50 SCCM
散熱：平均920瓦
配件
電源要求：208-230V，20安培，50/60 Hz，1相
系統(tǒng)重量：158.76公斤（350磅）